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2-高纯氖气供应

넳 넲

电子级特种气体

电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI (特大规模集成电路）级。

ꄴ前一个：无

ꄲ后一个：大宗气体

名称	纯度	供应方式	供应国家
氦气	2.5N, 5N	钢瓶	中国/海外
液氦 5N	40尺ISO	TANK/杜瓦罐	中国/海外
氙气	99.999%	钢瓶	中国/海外
氪气	99.999%	钢瓶	中国/海外
氖气	99.999%	钢瓶/40尺ISO TT	中国/海外
激光气		钢瓶	中国